原理
SMU可以单独作为恒定电压源或者恒电流源来使用，也可以单独作为电压表或电流表来使用。然而，它们的强大之处在于同时将提供信号源的功能与测量的功能紧密融合为一体，向待测器件（负载）提供驱动电压同时测量其中流过的电流，或是向负载提供驱动电流同时测量其两端的电压。
结构
SMU的电路结构（如下图所示）能够保护待测器件，防止待测器件遭受意外过载、热击穿和其他一些问题的破坏。其中的电流源和电压源都是可编程的，并且利用回读功能实现最佳的器件测量完整性。如果回读的结果超过了编程设定的极限值，那么信号源就会钳位在极限值上，从而保护待测器件。
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集多种功能为一体的精密测量仪器，主要是测量电气性能
SMU可以当电源,万用表或电源/测量组合.
当电源时：
可编程电压源
可编程电流源
当万用表时：
数字电压表(电流源,输出电流为0,测电压)
数字电流表(电压源,输出电压为0,测电流)
数字欧姆表(电流源,输出电流为一定值,测电压)
当电子负载时：
可编程恒压负载
可编程恒流负载
当电源/测量表组合（SMU）：
电压源与电流测量
分立器件特性测试：电阻、二极管、发光二极管、齐纳二极管、PIN二极管
BJT三极管、MOSFET、SiC、GaN等器件；
能量与效率特性测试：LED/AMOLED、太阳能、电池、DC/DC转换器；
传感器特性测试：电阻率、霍尔效应等；
有机材料特性测试：电子墨水、印刷电子技术等；
纳米材料特性测试：石墨烯、纳米线等；
激光器特性测试：窄脉冲LIV测试系统；
功率器件：静态测试系统；
电流传感器：动静态参数测试系统；
